英国SHAW便携式露点仪SDHmini：超纯气体系统的“水分克星”，护航晶圆制造

在半导体制造领域，超纯气体（如高纯氮气、氩气）是晶圆光刻、蚀刻、沉积等核心工艺的“生命线"。然而，气体中哪怕仅含1ppbv（十亿分之一体积比）的微量水分，也可能在硅基材料表面形成氧化层或颗粒污染，导致晶圆良率骤降甚至设备停机。英国SHAW公司推出的SDHmini-Ex便携式露点仪，凭借其ppb级检测精度、防爆安全设计与智能化功能，成为超纯气体供应系统中水分监测的“zhong极防线"。

ppb级精度：直击超纯气体检测“盲区"

SDHmini-Ex搭载肖氏第三代高电容氧化铝传感器，测量范围覆盖-100℃至+20℃露点，分辨率达0.01℃，可精准捕捉高纯气体中低至0.1ppbv的微量水分。在芯片制造车间，该仪器可实时检测气体管路露点温度，确保其低于-80℃（对应约0.5ppbv水分含量），满足SEMI F-63标准对超纯气体的严苛要求。其支持ppbv、ppmw、℃等多单位显示，并内置NIST溯源校准曲线，数据可直接用于ISO 14644-1洁净室认证报告。

防爆洁净双防护：适配半导体无尘环境

针对气体供应系统中可能存在的氢气等易ran气体，SDHmini-Ex通过ATEX II 1G Ex ia IIC T4 Ga、IECEx Ex ia IIC T4 Ga认证，可在Zone 0/20危险区域安全使用。其IP66防护等级与316L不锈钢电解抛光管路（Ra≤0.1μm），避免金属离子析出污染气体；内置50μm PTFE过滤器可拦截0.01μm以上颗粒，确保仪器本身不成为污染源。

智能检测：10秒完成一次露点分析

仪器du创“快速干燥-动态测量"模式，通过zhuan利干燥剂舱室设计，10秒内即可完成传感器预处理并启动检测，较传统仪器效率提升80%。其300,000组数据存储与蓝牙5.0实时传输功能，支持与SECS/GEM协议对接，将检测数据直接上传至MES系统，实现工艺参数全追溯。

典型应用：某12英寸晶圆厂的实践

国内某12英寸晶圆厂引入SDHmini-Ex后，在光刻机气体供应管路部署多点检测，成功将氮气露点从-70℃稳定控制在-90℃以下，晶圆表面颗粒缺陷率下降92%，年良率损失减少超2000万元。其150小时续航与10种语言菜单，更助力跨国技术团队实现24小时quan球协同维护。

从硅棒拉制到xian进封装，SDHmini-Ex以“超精、超稳、超快"的核心优势，为超纯气体系统提供全链路水分控制，助力半导体产业突破“摩尔定律"极限，迈向零que陷制造新时代。