英国肖氏SADP便携式露点仪在半导体制造中超纯气体水分检测应用

工艺设备在线监测
将SADP与产线气体管路连接，实时监测CVD或ALD设备的进气露点。例如，在硅烷（SiH₄）气体输送过程中，若露点突然上升至-60℃，可能提示纯化器失效，需立即停机检修。

故障排查与预防性维护
当产线出现良率下降时，使用SADP快速定位气体水分异常。通过检测蚀刻气体中的水分波动，发现某批次氮气因纯化器再生不导致露点超标，及时更换滤芯避免批量报废。

SADP与其他检测技术的对比

相较于传统冷镜式露点仪，SADP的优势在于：

无需液氮制冷：冷镜仪需依赖液氮维持低温，而SADP采用氧化铝传感器，无需外部冷源，操作更安全；

抗污染能力强：半导体气体中可能含微量腐蚀性杂质，SADP的传感器表面涂层可减少污染影响，延长校准周期；英国肖氏SADP便携式露点仪在半导体制造中超纯气体水分检测应用

• 成本效益高：单台SADP价格约1-5万元，远低于高精度冷镜仪（通常>10万元），且维护成本更低。

英国肖氏SADP便携式露点仪以其高精度、快速响应及本质安全特性，契合半导体制造对超纯气体水分检测的需求。无论是气体供应验证、工艺设备监测还是故障排查，SADP均能提供可靠数据支持，助力半导体工厂提升良率、降低维护成本。随着芯片制程向3nm及以下推进，SADP的技术价值将进一步凸显。

英国肖氏SADP便携式露点仪在半导体制造中超纯气体水分检测应用请致电英肖仪器仪表（上海）有限公司，英肖仪器仪表（上海）有限公司是进口露点仪品牌英国肖氏SHAW总代理、代表处、肖氏SHAW露点仪售后服务保障。