半导体特种气体巡检 英国 SHAW 进口便携式露点仪 SDHmini 的现场实测应用

半导体生产流程中，氩气、氦气这类特种惰性气体被大量用作工艺载气与保护气。气体内部携带的微量水汽，即便含量很低，也会在蚀刻、薄膜沉积等工序里对晶圆产生负面影响，容易引发表面氧化、薄膜针孔等各类工艺缺陷，影响产品生产过程。因此，定期对供气管路、气瓶出口、机台进气端开展气体湿度检测，是半导体工厂品质管控环节里不可que少的一环，英国 SHAW 进口便携式露点仪 SDHmini 可以完成这类特种惰性气体的现场取样检测工作。

半导体车间内部检测点位分布零散，涵盖气体分配柜、气瓶接口、设备进气口等多处位置，需要人员移动完成多点抽检。英国 SHAW 进口便携式露点仪 SDHmini 整机重量 1.75kg，机身轻便，方便工作人员携带流转于各个测点。英国 SHAW 进口便携式露点仪 SDHmini 拥有 IP66 防护等级，可以应对车间机房、特气间复杂的现场工况。英国 SHAW 进口便携式露点仪 SDHmini 内置充电锂电池，可实现 150 小时连续工作，长时间巡检作业无需频繁充电。英国 SHAW 进口便携式露点仪 SDHmini 配置彩色 LCD 显示屏，支持中文界面，可灵活切换露点温度、ppm (v) 等多种计量单位，现场直接读取氩气、氦气的湿度数据。

英国 SHAW 进口便携式露点仪 SDHmini 配置 AutoCal 自动校准功能，工作人员可直接在生产现场完成仪表校验，不用送回实验室处理，简化仪表维护流程。英国 SHAW 进口便携式露点仪 SDHmini 支持大容量数据存储，能够保存大量测点记录，借助 USB、蓝牙接口，可将检测数据导出至电脑做归档留存，方便工艺人员跟踪管路气体湿度的变化趋势。依靠英国 SHAW 进口便携式露点仪 SDHmini 开展周期性抽检，能够及时发现管路密封泄漏、纯化装置性能衰减等异常情况，减少水汽给晶圆带来的工艺缺陷，维护半导体生产工艺的稳定运行