半导体刻蚀、gao端精密焊接所使用的氩、氦、氖等超高纯稀有气体，有着行业gong认的严苛水分管控标准，先进芯片制程对气源霜点要求必须稳定低于 - 80℃，微量水汽会直接破坏等离子工艺稳定性，造成晶圆薄膜针孔、焊接焊缝气孔等不可逆缺陷，常规检测设备低温量程不足、测量漂移严重，很难捕捉 ppmv 级微量水汽变化，而美国 EdgeTech 高精度冷镜露点仪 DewMaster，搭配 X3CC 深冷液冷传感器，成为稀有气体精制产线标配检测方案。
超高纯稀有气体精制工段全程布设美国 EdgeTech 高精度冷镜露点仪 DewMaster，依托冷镜基准式测量原理，仪器无长期零点漂移，检测数据可溯源 NIST 计量标准，配套 ISO/IEC 17025 认证校准体系，检测结果可直接用于产品质检与出厂判定。针对稀有气体超低温霜点监测需求，X3CC 深冷液冷传感器与美国 EdgeTech 高精度冷镜露点仪 DewMaster 成套使用，传感器采用 316 不锈钢全流通结构，耐高压、无内壁水汽吸附，搭配 - 15~0℃低温二次冷却液，极限降温能力可达 125℃，稳定实现 - 90℃至 95℃全区间霜点测量，轻松覆盖 - 80℃以下超低霜点监测需求。
美国 EdgeTech 高精度冷镜露点仪 DewMaster 提供 ±0.1℃超高精度可选配置，0.1ppmv 级细微水汽波动均可实时反馈，当稀有气体干燥纯化设备吸附填料性能衰减、微量水汽穿透气路时，霜点数值会出现微弱上浮，普通露点设备无法识别该早期隐患，美国 EdgeTech 高精度冷镜露点仪 DewMaster 能第一时间捕捉数值变化，通过内置双路报警继电器推送预警信号，工作人员可及时切换再生流程，杜绝不达标稀有气体流入充装、输送环节。
从稀有气体精馏提纯、钢瓶分装到半导体厂区大宗特气供气柜，美国 EdgeTech 高精度冷镜露点仪 DewMaster 实现 7×24 小时不间断在线值守。设备自带光学自动校正功能，抵消气流中微量杂质对镜面测量的干扰，传感器镜面拆装清洗便捷，大幅降低高纯工况下的运维频次；4-20mA 模拟量、RS232 数字信号可无缝对接工厂 DCS 中控系统，霜点、水汽 ppmv 数值实时可视化，全程留存完整生产监测数据。
依托美国 EdgeTech 高精度冷镜露点仪 DewMaster 与 X3CC 深冷液冷传感器的组合优势，稀有气体生产企业稳定把控气源超低霜点指标，从源头消除微量水分带来的产品质量隐患，为 7nm 先进芯片制造、gao端特种焊接提供稳定可靠的超高纯稀有气体品质保障
欢迎来到
联系人：刘女士
地址：上海市虹口区广纪路173号
邮箱：shawchinasadp@163.com
传真：