英国 SHAW 肖氏便携式露点仪 SADP—— 半导体光伏高纯保护气水分管控

半导体产线涵盖晶圆沉积、刻蚀、光刻、封装多道工序，光伏车间包含硅料拉晶、电池镀膜、组件封装等环节，各工序保护气管路、储气钢瓶、干燥纯化设备均需频繁巡检。传统检测设备预热久、易受环境潮气干扰，测量数据偏差大，而英国 SHAW 肖氏便携式露点仪 SADP 搭载专属干燥剂除湿头，闲置时传感器自动隔绝外界空气保持干燥，抵达任意检测点位无需长时间等待，快速读取稳定露点数值，大幅提升高纯保护气巡检效率。

把控高纯保护气露点、阻断水汽污染，英国 SHAW 肖氏便携式露点仪 SADP 拥有适配行业的专业测量能力。仪器配备多量程氧化铝传感探头，光伏与半导体常用 B 型、P 型传感器，测量区间覆盖 - 100℃~+20℃露点，可精准捕捉 ppb 级微量水分波动，分辨率 0.1℃、重复性优于 ±0.5℃，运维人员使用英国 SHAW 肖氏便携式露点仪 SADP 对比纯化设备进出口露点，能快速判断分子筛纯化装置是否失效，从气源端降低水汽含量，从根源避免晶圆、电池片氧化瑕疵。

洁净车间多点位流动检测场景下，英国 SHAW 肖氏便携式露点仪 SADP 便携耐用优势显著。整机体积小巧，标配 2 米 PTFE 洁净取样软管与皮质便携肩带，单人可穿梭光伏拉晶炉、半导体刻蚀腔体、特气管道各点位；六节 C 型电池供电，连续运行可达 150 小时，全天不间断巡检无需频繁更换电源。英国 SHAW 肖氏便携式露点仪 SADP 自带现场自动校准功能，无需配套标准气源，操作人员简单调节面板电位器即可完成校验，检测数据可溯源国际湿度标准，满足半导体、光伏工厂生产台账与客户审核要求。

同时英国 SHAW 肖氏便携式露点仪 SADP 具备 ATEX、IECEx 本质安全认证，产区内易燃易爆特种气体环境也可安全使用，316 不锈钢过滤探头不会给高纯气体引入颗粒杂质。长期依靠英国 SHAW 肖氏便携式露点仪 SADP 常态化监测高纯保护气露点，稳定管控气体水分指标，有效减少晶圆氧化缺陷、光伏电池片不良品产出，降低原料损耗与返工成本，保障半导体、光伏生产线持续稳定高效运转