芯片怕“水“！英国SHAW SADP露点仪守护半导体超纯气体干燥度

在半导体与电子制造领域，超高纯气体（如氮气、氩气等）是芯片制造中不可huo缺的工艺介质。从晶圆清洗、薄膜沉积到光刻刻蚀，每一道工序都对气体中的水分含量有着近乎苛刻的要求——哪怕是ppm级的微量水分，也可能导致芯片氧化、薄膜缺陷甚至整批晶圆报废。因此，在气体供给管路的关键节点进行露点快速抽检，是保障良品率的重要手段。英国肖氏（SHAW）Model SADP-D便携式露点仪，凭借其快速响应、精准测量和本质安全等特性，成为半导体现场气体干燥度管控的得力工具。

微量水分也能捕捉：精度满足超纯气体检测需求

半导体工艺用气的露点通常要求控制在极低水平。SADP-D提供银（S）传感器，测量范围覆盖-100°C至-20°C露点，对应0至1000 ppm(v)水汽含量，分辨率达0.1 ppm(v)。其精度为±3°C至±4°C，重复性优于±0.5°C，并随附国家物理实验室（NPL）可追溯的校准证书，数据可靠、可追溯，能够满足半导体行业对微量水分检测的严格要求。

干燥剂头技术：即测即用，不耽误产线节拍

半导体工厂的产线停机成本ji高，检测仪表必须快速出数。SADP-D采用独特的干燥剂干燥室设计，传感器在两次测试之间始终与大气隔绝，保持干燥状态。接入气体管路取样口后，干燥头先对传感器周围进行净化除湿，随后气体接触传感器即可读数。预热时间仅需5秒，干燥至潮湿的反应时间小于20秒，操作人员可以在短短几秒内完成一次露点抽检，不影响产线正常运转。

本质安全认证：洁净车间与危险区域均可使用

半导体工厂中常使用易燃易爆的特种气体，对检测设备的安全性有较高要求。SADP-D通过ATEX II 1 G Ex ia IIC T6 Ga及IECEx Ex ia IIC T6 Ga本质安全认证，无需附加配件即可在危险区域直接使用，防护等级达IP66/NEMA 4X。这意味着无论是在普通洁净车间还是在特种气体区域，SADP-D都能安全可靠地工作。

自动校准+超长续航：降低运维负担

SADP-D内置自动校准功能，现场只需将传感器暴露在比测量范围更潮湿的大气中，通过正面电位器即可完成校准，无需送回实验室或请专业人员到场。6节C型电池支持超过150小时连续运行，大幅减少了频繁更换电池和送检校准的运维成本。

一台SADP-D，一根两米PTFE取样软管，一个重型皮革便携箱——英国肖氏用数十年的露点测量经验，为半导体与电子制造行业的超纯气体干燥度管理，提供了一种简单、可靠、可追溯的现场解决方案